Korean
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Products Laser application system

Using SLM & Axicon Lens

이 장비는 SLM과 Bessel beam을 적용한 장비입니다. SLM의 Hologram 기능을 통해 Mask 없이 가공을 할 수 있으며, 멀티 beam(4개) 생성도 가능합니다. 멀티 beam을 통한 작업시간을 획기적으로 절약할 수 있습니다.
적용분야
  • Transparent material(Quartz, Sapphire, Glass wafer 등)
사양
  • 레이저 소스 : 1064 nm(나노/피코/펨토)
  • 동작 모드 : IFOV(Infinite field of view) 모드 동작
  • 스테이지 :
    스스트로크 -> 최대 500 mm (X) x 400mm (Y) x 50mm (Z)
    Accuracy -> ≤± 0.5 um
    Repeatability -> ≤± 0.5 um
  • 크기 : 1800 mm x 1600 mm x 1650 mm (고객 요청에 따라 변경 가능)
  • Bessel beam delivery unit
  • 한 개의 빔을 4개까지 생성 가능